冷凝泵是獲得清潔真空的極限壓力低、抽氣速率最大的真空泵,廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產,以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。冷凝泵支承部分3個品種支承部分結構相同,主要件有托架、前后軸承壓蓋,和軸組合定位在托架上的前后徑向滾珠軸承上,滾珠軸承亦承受未被平衡的軸向力。用稀油潤滑,油量可從油標看出。前后軸承壓蓋均裝有毛氈密封圈做為軸封,以防漏油。管堵處的孔用來灌油。清洗換油時從絲孔將油放出。
1.拆箱后檢查冷凝泵和電動機。如果確認沒有由于裝卸和運輸過程引起的緊固連接損壞或松動,則該泵的進口和出口密封件完好無損,并且沒有灰塵進入冷凝泵內。將其直接發送到目的地進行安裝。
2.安裝冷凝泵的基礎平面應使用液位計進行調平?;A水泥固化后,將該泵安裝在地基上,并使用液位計進行校正。應嚴格檢查冷凝泵軸和電動機軸的同心度,聯軸器的外圓偏移公差為0.1mm,兩個聯軸器端面的較大和較小間隙差在一個圓內不得超過0.3mm。
3.應支撐冷凝泵的吸入管路和壓力出口管路,并且管路的重量不能直接由冷凝泵承擔。檢查管道,儀表等接口是否密封良好。
